半导体工业是构建我国战略科技实力自主自强的焦点支持工业，而半导体零部件则是决议我国半导体工业高质量生长的要害领域
。只管目今我国半导体工业处于加速生长阶段，但海内半导体零部件工业仍面临着国产化率低下，工业恒久支持和投入力度缺乏，企业自主立异能力薄弱，工业上下游联动相助不畅，人才作育和激励机制缺失等诸多问题
。本文将周全梳理全球半导体零部件工业的生长特点和重点企业，研究海内外市场规模和生长名堂，并针对现在海内半导体零部件工业面临的主要问题，提出相关生长建议
。

    半导体零部件是指在质料、结构、工艺、品质和精度、可靠性及稳固性等性能方面抵达了半导体装备及手艺要求的零部件，如O-Ring密封圈、EFEM (传送模块)、RF Gen射频电源、ESC静电吸盘、Si硅环等结构件、Pump真空泵、MFC气体流量计、细密轴承、ShowerHead气体喷淋头等
。半导体装备由成千上万的零部件组成，零部件的性能、质量和精度直接决议着装备的可靠性和稳固性，也是我国在半导体制造能力上向高端化跃升的要害基础要素
。海内半导体零部件工业起步较晚，我国半导体零部件工业总体水平偏低，高端产品供应能力缺乏，产品可靠性、稳固性和一致性较差的问题日益凸显
。在全球宏观政治经济日益重大，美国一直打压阻止我国高手艺工业战略崛起的配景下，工业被“卡脖子”的征象较为突出，这不但严重制约我国半导体工业向高级化高端化生长，同时对我国数字经济、民生经济和国防清静也带来不可低估的危害
。

半导体零部件主要分类和主要特点

（1）半导体零部件主要分类

半导体零部件是半导体装备的要害组成，据不完全统计，现在行业里关于半导体零部件的种类划分尚未形成标准，现在主要有以下几种分类要领
。

凭证典范集成电路装备腔体内部流程来分，零部件可以分为五大类：电源和射频控制类、气体运送类、真空控制类、温度控制类、传送装置类
。其中电源和射频控制类包括射频爆发器和匹配器、直流/交流电源等
。气体运送类主要包括流量控制器、气动部件、气体过滤器等
。真空控制类包括干泵/冷泵/分子泵等种种真空泵、控制阀/钟摆阀等种种阀件、压力计以及O-Ring密封圈
。温度控制类则包括加热盘/静电吸盘、热交流器及升降组件
。传送装置类包括机械手臂、EFEM、轴承、细密轨道、步进马达等
。

凭证半导体零部件的主要质料和使用功效来分，可以将其分为十二大类，包括硅/碳化硅件、石英件、陶瓷件、金属件、石墨件、塑料件、真空件、密封件、过滤部件、运动部件、电控部件以及其他部件
。其中各大类零部件还包括若干细分产品，例如在真空件里就包括真空规（丈量工艺真空）、真空压力计、气体流量计（MFC）、真空阀件、真空泵等多种要害零部件
。

凭证半导体零部件效劳工具来分，半导体焦点零部件可以分为两种，即细密机加件和通用外购件 [1]
。细密机加件通常由各个半导体装备公司的工程师自行设计，然后委外加工，只会用于自己公司的装备上，如工艺腔室、传输腔室等，国产化相对容易，一样平常对其外貌处置惩罚、细密机加工等工艺手艺的要求较高；通用外购件则是一些经由长时间验证，获得众多装备厂和制造厂普遍认可的通用零部件，越发具有标准化，会被差别的装备公司使用，也会被作为产线上的备件耗材来使用，例如硅结构件、O-Ring密封圈、阀门、规（Gauge）、泵、Face plate、气体喷淋头Shower head等，由于这类部件具备较强的通用性和一致性，并且需要获得装备、制造产线上的认证，因此国产化难度较高
。